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微机械加速度计及电容检测电路的设计

引用本文：	赵长德，,陈,旻，,徐,力.微机械加速度计及电容检测电路的设计[J].中国惯性技术学报

作者姓名：	赵长德，陈旻，徐力

摘要：
文章编号：	10056734(1999)01003204