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| 关于制备1315nm 45°入射高反射镜的实验研究 | |
| 引用本文： | 王英剑,宋永香,张蕾,王靖,李庆国.关于制备1315nm 45°入射高反射镜的实验研究[J].强激光与粒子束,2000(Z1). |
| 作者姓名： | 王英剑 宋永香 张蕾 王靖 李庆国 |
| 基金项目： | 国家863激光技术领域资助课题 |
| 摘 要： | 从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作 ,为制备 1 31 5nm 4 5°高反射镜提供一些判断实验数据 ,并提出改进的方法 ,从而使制备的高反射膜取得满意的结果 :反射率大于 99.8%。 |
| 关 键 词： | 高反射镜 膜厚 应力 |