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| 溶胶凝胶制备氧化钒薄膜的生长机理及光电特性 | |
| 作者姓名： | 何琼 许向东 温粤江 蒋亚东 敖天宏 樊泰君 黄龙 马春前 孙自强 |
| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 61071032)资助的课题. |
| 摘 要： | 采用溶胶凝胶法, 在不同的退火温度下制备了不同的氧化钒薄膜. 利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪等, 对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性进行了分析. 结果表明, 溶胶凝胶法获取V2O5薄膜的最佳退火温度为430 ℃, 低于此温度不利于使有机溶剂充分分解, 高于此温度则V–O键发生裂解、形成更多的低价态氧化钒. 本文制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和光吸收率, 适合应用在非制冷红外探测器中. 本文揭示了溶胶凝胶法制备氧化钒薄膜的生长机理.
关键词：
氧化钒薄膜
溶胶凝胶
光电特性
生长机理 |
| 关 键 词： | 氧化钒薄膜 溶胶凝胶 光电特性 生长机理 |
| 收稿时间： | 2012-08-01 |
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