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| 基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟 | |
| 作者姓名： | 李有斌 张胜涛 何银凤 梁世民 韩金豆 付昊 赵丽丽 |
| 作者单位： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,西宁,810000;哈尔滨工业大学化学与化工学院,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 利用Poly Sim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因。和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5%。 |
| 关 键 词： | 电子级多晶硅 化学气相沉积 数值模拟 气体循环 |
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