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利用紧凑的宽束离子植入机对硅进行的宽束硼离子值入

引用本文：	王惠三.利用紧凑的宽束离子植入机对硅进行的宽束硼离子值入[J].等离子体应用技术快报,2000(1):4-5.

作者姓名：	王惠三

摘要：
关键词：	宽束离子植入机硅宽束硼离子植入微电子学
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