| 基于傅里叶变换光学系统的动态多光束干涉光刻 |
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| 引用本文： | 叶燕,马亚骐,宋志,路畅,许宜申,陈林森.基于傅里叶变换光学系统的动态多光束干涉光刻[J].光学学报,2023(8):273-285. |
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| 作者姓名： | 叶燕 马亚骐 宋志 路畅 许宜申 陈林森 |
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| 作者单位： | 1. 苏州大学光电科学与工程学院,苏州纳米科技协同创新中心;2. 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室,教育部现代光学技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（62075149,61575132）；;江苏省自然科学基金（BK20201406）； |
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| 摘 要： | 变参量微纳结构在二维平面内交叉、分段排布可以实现超表面器件的多路复用和多功能集成。为实现交叉、分段变参量微纳结构的干涉制备，提出了孔径光阑与相位元件联合调制的傅里叶变换光学系统。利用透镜的傅里叶变换特性和相位元件衍射光线的几何传播特性，阐明了傅里叶成像面上交叉、分段分布的多干涉光场的生成方法与调控规律。同时，针对目标分布的变参量微纳结构，反演设计了多像素孔径光阑与基于光栅和变参量光栅的相位元件，实验获得了交叉、分段分布的多干涉光场。将多干涉光场与微缩投影结合可制备分段排布的纳米光栅。将动态调控的多干涉光场分时复用可制备分段排布的变参量纳米光栅。
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| 关 键 词： | 光学设计 相位调制 4f光学系统 空间变参量 干涉光刻 |
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