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| 扫描探针显微镜在工业产品检测中的应用前景 | |
| 引用本文： | 戴长春,张新文.扫描探针显微镜在工业产品检测中的应用前景[J].物理,1997,26(6):366-370. |
| 作者姓名： | 戴长春 张新文 |
| 作者单位： | 中国科学院化学研究所，中国地质大学材料科学与工程学院 |
| 摘 要： | 讨论了扫描探针显微镜（ＳＰＭ）的应用领域和ＳＰＭ的发展现状，重点探讨了国产ＳＰＭ应用于信息产业、能源产业以及航空航天等工业领域中高新技术产品质量检测的存在、的问题、以及应用的前景。 |
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 工业检测 SPM 显微镜 |
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