| 晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究 |
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| 引用本文： | 靳聪慧,史振亮,于威,丛日东,张瑜,宋登元,傅广生. 晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(3): 571-575 |
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| 作者姓名： | 靳聪慧 史振亮 于威 丛日东 张瑜 宋登元 傅广生 |
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| 作者单位： | 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002 |
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| 摘 要： | 以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63;.该结果可解释为:气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的SiOyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶体硅的过量刻蚀导致微结构只剩锥体底部的脊型凸起.CH4掺入导致CHx聚合物的掩模和粒子轰击效应均有增强,更有利于高纵横比锥型微结构的形成.
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| 关 键 词： | 反应离子刻蚀 锥型绒面结构 晶体硅 太阳能电池, |
Fabrication of Crystalline Silicon Surface Texture for Solar Cells by Reactive Ion Etching |
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| JIN Cong-hui;SHI Zhen-liang;YU Wei;CONG Ri-dong;ZHANG Yu;SONG Deng-yuan;FU Guang-sheng. Fabrication of Crystalline Silicon Surface Texture for Solar Cells by Reactive Ion Etching[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(3): 571-575 |
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| Authors: | JIN Cong-hui SHI Zhen-liang YU Wei CONG Ri-dong ZHANG Yu SONG Deng-yuan FU Guang-sheng |
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| Affiliation: | JIN Cong-hui;SHI Zhen-liang;YU Wei;CONG Ri-dong;ZHANG Yu;SONG Deng-yuan;FU Guang-sheng;College of Physics Science and Technology,Hebei University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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