| 镓基氧化物薄膜日盲紫外探测器研究进展EI北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 陈星,程祯,刘可为,申德振.镓基氧化物薄膜日盲紫外探测器研究进展EI北大核心CSCD[J].发光学报,2023(7):1167-1185. |
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| 作者姓名： | 陈星 程祯 刘可为 申德振 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所130033;2.中国科学院大学材料科学与光电工程研究中心100049; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(62074148,61875194,11727902)；中组部万人计划青年拔尖项目；长春市科技发展计划(21ZY05)；中国科学院青年创新促进会(2020225)；吉林省自然科学基金(20220101053JC,20210101145JC)；吉林省中青年科技创新创业卓越人才(团队)项目(20220508153RC)。 |
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| 摘 要： | 日盲紫外探测器在国防和民用领域均具有广阔的应用前景。基于宽禁带半导体材料的日盲紫外探测器具有无需昂贵的滤光片、工作电压低、全固态、体积小、重量轻、抗干扰能力强、工作温度范围广等特点,是公认的新一代紫外探测器。在众多的宽禁带半导体材料中,以Ga_(2)O_(3)作为典型代表的镓基氧化物材料因其优异的电学和光电特性已经成为近年来微电子学和光电子学领域的研究热点,特别是其本征日盲、耐高温、耐高压、化学稳定性好等优异特点使得该类材料在日盲紫外光电探测领域展现出巨大的发展潜力。鉴于此,本文综述了不同晶体结构的Ga_(2)O_(3)、镓酸盐氧化物、镓锡氧化物、镓铝氧化物等镓基氧化物薄膜及其日盲紫外探测器研究进展。
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| 关 键 词： | 日盲 紫外探测器 Ga2O3 镓基氧化物 镓酸盐氧化物 含镓三元合金氧化物 |
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