纳米级光学超精密加工技术 |
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引用本文: | 于劲,曹健林.纳米级光学超精密加工技术[J].物理,1992,21(12):726-731. |
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作者姓名: | 于劲 曹健林 |
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作者单位: | [1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应 |
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摘 要: | 纳米级光学超精密加工是软X射线光学和光电子学元件制备的重要基础技术之一。本文概述这一技术研究的主要内容并介绍近10年来特别是80年代后期在这一研究领域的最新进展,例如单点金刚石车削、可延展磨削、浮法抛光以及离子束抛光等。超精密加工的最终目标是直接操纵原则,本文还介绍了用扫描隧道显微镜(STM)实现亚纳米级超精密加工的可能性。亚纳米级超精密加工技术将成为下个世纪重要的高技术。
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关 键 词: | 超精加工 纳米级 光学元件 |
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