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大尺寸球面数字刀口检测技术的研究
引用本文:张均,董军,蔡邦维,张蓉竹,张艳. 大尺寸球面数字刀口检测技术的研究[J]. 光学与光电技术, 2004, 2(6): 10-13
作者姓名:张均  董军  蔡邦维  张蓉竹  张艳
作者单位:四川大学光电科学技术系,成都,610064;四川大学光电科学技术系,成都,610064;四川大学光电科学技术系,成都,610064;四川大学光电科学技术系,成都,610064;四川大学光电科学技术系,成都,610064
摘    要:
介绍了数字刀口检测原理,建立了检测装置,编制了运算软件,对φ125-150mm口径的球面镜进行检测,获得了面形分布。通过与干涉仪测量结果相比较,验证了数字刀口检测方法的可行性,为镜面误差的加工修正提供了依据。

关 键 词:光学面形检测  数字刀口  定量分析
文章编号:1672-3392(2004)06-0010-04
收稿时间:2004-08-25
修稿时间:2004-08-25

Research on Digital Knife-Edge Testing Technology
ZHANG Jun DONG Jun CAI Bang-wei ZHANG Rong-zhu ZHANG Yan. Research on Digital Knife-Edge Testing Technology[J]. optics&optoelectronic technology, 2004, 2(6): 10-13
Authors:ZHANG Jun DONG Jun CAI Bang-wei ZHANG Rong-zhu ZHANG Yan
Abstract:
This paper introduces the principle of digital knife-edge testing, experimental instruments and programs. The surface characteristics of φ125mm~φ150mm spherical mirrors are obtained. Comparing with the testing results of interferometer, the digital knife-edge testing technology is available and can provide theoretical basis for surface modification.
Keywords:surface characterization test  digital knife-edge  quantitative analysis
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