| 子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究 |
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| 作者姓名： | 王孝坤 郑立功 张学军 张忠玉 |
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| 作者单位： | 1.（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,）,长春,130033 |
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| 基金项目： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助项目 |
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| 摘 要： | 将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究|并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型|开发了子孔径拼接检测非球面的算法软件,并设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置|利用综合优化的拼接模型对一口径为376×188mm2的离轴非球面进行了拼接干涉测量,通过子孔径拼接算法得到了精确的全口径面形分布|且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV值和RMS值的偏差仅为0.047λ和0.006λ.从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试大口径非球面以及离轴非球面的手段.
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| 关 键 词： | 光学测试 子孔径拼接干涉 离轴非球面 最小二乘拟合 |
| 收稿时间： | 2009-09-14 |
| 修稿时间： | 2009-12-18 |
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