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白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能
引用本文:陈奶波,吴惠桢,邱东江.白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能[J].物理学报,2004,53(1).
作者姓名:陈奶波  吴惠桢  邱东江
作者单位:1. 浙江大学物理系,杭州,310028
2. 浙江大学物理系,杭州,310028;信息功能材料国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
基金项目:国家自然科学基金,上海市应用材料研究与发展基金
摘    要:在白宝石 (sapphire)衬底上低温外延生长出了MgxZn1 -xO晶体薄膜 .x射线衍射 (XRD)及能量色散x射线 (EDX)分析表明 ,MgxZn1 -xO薄膜的晶体结构依赖于薄膜中Mg的组分x,随着Mg组分的增大 ,MgxZn1 -xO薄膜的结构从与ZnO晶体一致的六方结构转变为与MgO晶体一致的立方结构 .对MgxZn1 -xO薄膜的紫外透射光谱及紫外光致荧光谱 (UVPL)的分析表明 ,随着Mg组分的增大 ,光学吸收边产生明显的蓝移 ,表明MgxZn1 -xO晶体薄膜的带隙增大 ,且带隙连续可调 .吸收光谱和XRD测量显示 ,带隙高达 5 6 5eV的MgxZn1 -xO晶体薄膜与MgO之间的晶格失配仅为0 16 % .

关 键 词:电子束蒸发反应  MgxZn1-xO晶体薄膜  结构和光学性能

Structural and optical studies of MgxZn1-xO films grown on sapphire
Abstract:Low-temperature epitaxy of Mg x Zn 1-x O thin films is achieved on sapphire substrates by the reactive electron beam evaporation. X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive x-ray (EDX) analyses of the films demonstrate that the structure of Mg x Zn 1-x O depends upon the concentration of Mg in the films. With the increase of Mg concentration, the structure of Mg x Zn 1-x O changes from the wurtzite crystal structure of ZnO to the cubic one with lattice constant similar to that of MgO. By the measurements of UV-visible transmission and ultraviolet photoluminescence spectra of the Mg x Zn 1-x O films, it is found that the absorption band edge of Mg x Zn 1-x O is blue shifted obviously with the increase of Mg concentration, indicating the absorption band edge of Mg x Zn 1-x O becomes wider. However, the lattice mismatch between cubic Mg x Zn 1-x O film and MgO is small (0 16%).
Keywords:reactive e-beam evaporation  Mg x Zn1-x  O thin films  structural and optical properties
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