| Sb掺杂ZnSnO3透明导电薄膜：制备与性能 |
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| 引用本文： | 储晓菲,贺蕴秋,李一鸣,黄河洲,刘德宇,陈慧敏,李文有.Sb掺杂ZnSnO3透明导电薄膜：制备与性能[J].无机化学学报,2013,29(18). |
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| 作者姓名： | 储晓菲 贺蕴秋 李一鸣 黄河洲 刘德宇 陈慧敏 李文有 |
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| 作者单位： | 同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800;同济大学材料科学与工程学院, 上海 201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（No.51175162）资助项目。 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel）和旋涂法制备了未掺杂的ZnSnO3薄膜和掺入不同物质的量的Sb的ZnSnO3薄膜。采用X射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FE-SEM）、X射线光电子能谱（XPS）、霍尔效应仪（Hall）以及紫外-可见光（UV-Vis）等表征了热处理后薄膜的晶相、微观形貌、晶格缺陷、电学性能以及紫外-可见光透过率。结果表明：所有薄膜都是ZnSnO3结构；与未掺Sb的ZnSnO3薄膜相比，掺入Sb后的ZnSnO3薄膜的电阻率都有不同程度的降低，其中掺入8mol%Sb的薄膜具有最低的电阻率0.96Ω·cm；缺陷研究表明：Sb的掺入使得晶格中的间隙锌离子含量增加，这有利于薄膜电阻率的降低；薄膜的紫外-可见光（UV-Vis）表明：在波长大于475nm的可见光范围内，掺入Sb的ZnSnO3薄膜的可见光透过率都在80%以上。
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| 关 键 词： | 导电 透明 薄膜 溶胶-凝胶法 |
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