| 空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析 |
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| 引用本文： | 赖建军,余建华,黄建军,王新兵,丘军林.空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析[J].物理学报,2001,50(8):1528-1533. |
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| 作者姓名： | 赖建军 余建华 黄建军 王新兵 丘军林 |
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| 作者单位： | (1)华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉430074; (2)华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉430074;深圳大学光电子系与华中科技大学激光技术国家重点实验室联合培养的博士研究生; (3)深圳大学科技研究院光电子系,深圳518060; (4)深圳大学理学院,深圳518060 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金(批准号:980922)资助的课题. |
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| 摘 要： | 建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型,理论研究了气压为50—120Pa,电压为150—300V的范围内Ar空心阴极放电特性、粒子密度和电离速率空间分布,特别考察了影响阴极溅射分布有关因素:阴极面上的电场、离子流和离子密度的沿阴极截面的空间分布.研究结果不仅证实了在所讨论的范围内,空心阴极效应明显存在而且发现归一化电离速率的空间分布形状强烈依赖于气压.通过研究电场、离子流和离子密度的空间分布解释了空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子密度的不均匀分布
关键词：
空心阴极放电
自洽模型
气体激光
阴极溅射
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| 关 键 词： | 空心阴极放电 自洽模型 气体激光 阴极溅射 |
| 收稿时间： | 2000-12-30 |
| 修稿时间： | 2000年12月30 |
SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING |
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| LAI JIAN-JUN,YU JIAN-HUA,HUANG JIAN-JUN,WANG XIN-BING and QIU JUN-LIN.SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING[J].Acta Physica Sinica,2001,50(8):1528-1533. |
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| Authors: | LAI JIAN-JUN YU JIAN-HUA HUANG JIAN-JUN WANG XIN-BING and QIU JUN-LIN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hollow cathode discharge self-consistent model gas laser cathode sputtering |
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