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| 月基极紫外相机多层膜反射镜 | |
| 作者姓名： | 刘震 高劲松 陈波 王彤彤 王笑夷 申振峰 陈红 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（40774098, 10878004）资助 |
| 摘 要： | 月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4 nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,对其周期厚度、材料比例、周期数等参数进行优化。计算了以上材料组合在30.4 nm的反射率曲线。考虑到月球环境的特殊性和材料的物理化学性质,从中选择出Mo/Si和B4C/Si两种组合,利用磁控溅射进行镀制。Mo/Si和B4C/Si多层膜在30.4 nm反射率分别达到15.3%和22.8%。 |
| 关 键 词： | 极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 反射率 等离子体层 |
| 收稿时间： | 2012-03-15 |
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