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| 有限元分析法在SOI基微环谐振器设计中的应用 | |
| 作者姓名： | 谢生 张彬 毛陆虹 郭维廉 陈燕 于欣 张世林 |
| 作者单位： | 1.天津大学 电子信息工程学院 天津,300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,天津大学青年教师培养基金 |
| 摘 要： | 利用有限元法(FEM)分析了大横截面SOI(Silicon-on-insulator)脊型波导的本征模式分布,确定了脊型波导的单模条件。在保证单模传输的情况下,模拟了SOI微环谐振器中波导耦合器的耦合长度、功率耦合系数与波导尺寸和间距的关系。模拟结果表明:对于W=1μm,H=2μm的SOI脊型波导耦合器,耦合长度LC随波导间距d的增加而增大,功率耦合系数随之减小。在波导间距d＜0.8μm的情况下,耦合长度LC随着归一化脊高r的增加而增大,当d＞0.8μm时,耦合长度LC随r的增加而减小。模拟结果为SOI微环谐振器的设计和应用提供了理论依据。 |
| 关 键 词： | 集成光学 微环谐振器 单模条件 波导耦合器 |
| 收稿时间： | 2009-09-02 |
| 修稿时间： | 2009-11-13 |
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