团簇演积纳米结构薄膜的计算机模拟

对团簇的沉积方式作了简介。着重对团簇的淀积过程进行了计算机模拟，从中得出了淀积的尺寸分布与团簇在衬底上的徒动长度有关，而团簇的聚合长大存在一临界尺寸。并给出低能Ｐｂ团簇在碳膜表面的徒动长度和聚事的临界尺寸。