| 基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计 |
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| 引用本文： | 刘民杰,刘云峰,董景新,赵常德. 基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计[J]. 中国惯性技术学报, 2010, 18(2): 236-239 |
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| 作者姓名： | 刘民杰 刘云峰 董景新 赵常德 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084 |
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| 摘 要： | 介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
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| 关 键 词： | MEMS加速度计 通用电容读取芯片 MS3110 闭环系统 |
MEMS accelerometer based on capacitive readout IC MS3110 |
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| LIU Min-jie,LIU Yun-feng,DONG Jing-xin,ZHAO Chang-de. MEMS accelerometer based on capacitive readout IC MS3110[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2010, 18(2): 236-239 |
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| Authors: | LIU Min-jie LIU Yun-feng DONG Jing-xin ZHAO Chang-de |
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| Keywords: | MS3110 |
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