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Structures and Properties of Zr-N Films Prepared by ECR-Microwave Plasma Source Enhanced Direct-Current Magnetron Sputtering Under Different N2 Partial Pressures
摘 要:
关 键 词:
锆-氮薄膜
结构性能
ECR微波等离子体增强直流磁控溅射法
氮气条件
非晶体相位
X射线衍射分析
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