| 适用于表面分析的小型低能电子显微镜 |
| |
| 引用本文： | 张冠华,孙巨龙,金艳玲,臧侃,郭方准,杨学明.适用于表面分析的小型低能电子显微镜[J].化学物理学报,2013,26(4):369-373. |
| |
| 作者姓名： | 张冠华 孙巨龙 金艳玲 臧侃 郭方准 杨学明 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院大连化学物理研究所，大连116023;中国科学院大连化学物理研究所，大连116023;中国科学院大连化学物理研究所，大连116023;大连交通大学，大连116028;大连交通大学，大连116028;中国科学院大连化学物理研究所，大连116023 |
| |
| 摘 要： | 介绍并表征了一套单法兰集成的低能电子显微镜. 这套显微镜中采用了10o偏转角的磁分束器，从而有利于将其集成到一个10 in的法兰上. 电子光学系统中的一些修正单元被简化，以使其结构简单，容易操作. 样品被置于地电位，方便各静电透镜浮在高电压上. 通过几个实验展示了这台显微镜在典型的低能电子成像、低能电子衍射和光电子成像模式下的性能. 低能电子成像的空间分辨率为51 nm. 利用飞秒激光做光源，相应的非线性光电子发射过程使得这台设备非常适合进行光学近场现象的观察，并获得110 nm的光电子成像空间分辨率.
|
| 关 键 词： | 低能电子显微镜，单法兰集成，飞秒激光，空间分辨率，小偏转角 |
| 收稿时间： | 2013/4/22 0:00:00 |
A Compact Low Energy Electron Microscope for Surface Analysis |
| |
| Guan-hua Zhang,Ju-long Sun,Yan-ling Jin,Kan Zang,Fang-zhun Guo and Xue-ming Yang.A Compact Low Energy Electron Microscope for Surface Analysis[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2013,26(4):369-373. |
| |
| Authors: | Guan-hua Zhang Ju-long Sun Yan-ling Jin Kan Zang Fang-zhun Guo and Xue-ming Yang |
| |
| Institution: | Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian 116023, China;Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian 116023, China;Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian 116023, China;Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China;Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China;Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian 116023, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Low energy electron microscopy Flange-on Femtosecond laser Lateral reso-lution Small deflection angle |
|
| 点击此处可从《化学物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《化学物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
