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GaN基蓝光半导体激光器的发展   总被引：3，自引：0，他引：3  
陈良惠  叶晓军  种明 《物理》2003,32(5):302-308
文章介绍了下一代光存储用半导体激光器——GaN蓝光激光器的发展状况．对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述．阐明了GaN激光器的一些技术路线，如GaN同质生长衬底的发展，侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等．另外还介绍了GaN半导体激光器数字多功能光盘(DVD)的实用化进程．  相似文献   
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