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软X射线-真空紫外波段光谱光源研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线 真空紫外波段光谱光源研究工作。研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达± 0 . 3% ,可作标准辐射源 ,用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标。研制成功的潘宁 (Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源 ,可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围 ,光谱辐射稳定性和重复性达± 1. 0 % ,提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱 ,用于光谱仪器的波长定标。所研制的激光等离子体光源 ,尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激光等离子体光源 ,可以提供较高亮度的软X射线辐射 ,13 .0nm处激光 软X射线转换效率达 0 . 75 % / 2π·sr/ 2 %带宽 ,适合于光刻和该波段辐射计量研究。 相似文献
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激光二维光机扫描系统设计 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种采用八面体转镜与平面摆镜联合实现激光二维光栅轨迹扫描的扫描器,讨论了光学及机构设计中影响扫描精度的因素,及电机频率/相位稳速控制问题,保证了该扫描器的精度和稳定性。 相似文献
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Key Laboratory of Excited State Processes Chinese Academy of Sciences Changchun China 《发光学报》2006,27(6):1031-1031
中国科学院激发态物理重点实验室(以下简称实验室)始建于1989年,是国内惟一专门从事发光学及其应用研究的中国科学院开放实验室。徐叙院士是实验室的创始人和第一届主任,黄昆院士为实验室顾问(1989.4~1993.6)。现任实验室主任为申德振研究员。实验室依托于中国科学院长春光学 相似文献
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中国科学院激发态物理重点实验室(以下简称实验室)始建于1989年,是国内惟一专门从事发光学及其应用研究的中国科学院开放实验室。徐叙院士是实验室的创始人和第一届主任,黄昆院士为实验室顾问(1989.4~1993.6)。现任实验室主任为申德振研究员。实验室依托于中国科学院长春光学 相似文献