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1.
使用子孔径拼接法检测大口径光学元件   总被引:15,自引:4,他引:11  
为了解决大口径光学元件检测过程中成本高、空间分辨率低这两个主要难点 ,提出了使用小口径、高精度干涉仪分次检测大口径元件 ,然后通过优化算法将检测结果进行拼接处理 ,最终得到原大口径元件波前信息的方法 ,并作了初步的拼接模拟实验 ,确认了这一方案的可行性。  相似文献
2.
大口径光学元件波前功率谱密度检测   总被引:13,自引:3,他引:10  
许乔  顾元元  柴林  李伟 《光学学报》2001,21(3):44-347
波前功率谱密度(PSD)被用于评价惯性约束聚变激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差。高功率固体激光装置对大口径光学元件波前质量的要求有别于传统光学系统,要求对波前误差进行较高空间频率的测量。探讨了大口径光学元件波前的高空间分辨率检测技术,采用大口径相移干涉仪作为波前检测仪器,通过傅里叶变换获得波前一维功率谱密度分布。对惯性约束聚变激光驱动器的典型光学元件进行了波前功率谱密度的的检测和分析。  相似文献
3.
功率谱密度的数值计算方法   总被引:13,自引:8,他引:5       下载免费PDF全文
 采用功率谱密度PSD(Power Spectral Density)作为大尺寸光学元件表面质量的评价标准,对其定义及计算普适公式及方法进行了详细的分析推导,给出了被测样品的计算结果,并就在不同条件下计算平均PSD的方法和结果进行了分析比较和讨论。  相似文献
4.
子孔径拼接干涉检测实验研究   总被引:12,自引:5,他引:7  
为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法。该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测。建立了拼接检测计算的模型。利用最小二乘法计算得到拼接参数,从而恢复大口径光学元件的全孔径波前相位分布。在理论分析的基础上设计了一套检测装置,对该装置的稳定性进行了实验研究。进行了两口径拼接检测的实验。拼接结果与全孔径检测结果进行了比较。结果表明,该检测方案能够满足大口径光学元件的检测要求。  相似文献
5.
熔石英表面划痕附近电磁场分布模拟分析   总被引:12,自引:10,他引:2       下载免费PDF全文
 亚表面缺陷是造成固体激光器光学器件损伤阈值过低的重要原因,而表面划痕是缺陷中重要的一种。使用时域有限差分方法(FDTD)模拟了熔石英表面圆柱形、三角形划痕对激光电磁场的调制作用,绘出了2维电磁场强度分布图,计算出划痕尺寸不同时电磁场的最大强度。数值计算结果表明,尺寸为二倍波长的划痕可以获得最大的电磁场强度,此时容易导致自聚焦;亚波长级和足够大尺寸的划痕作用基本可以忽略。一定尺寸的划痕,深度越大,最大场强也越大,但当划痕过深时最大场强反而会降低。  相似文献
6.
用于ICF驱动器的取样光栅的矢量分析与计算   总被引:10,自引:3,他引:7       下载免费PDF全文
 在ICF的终端光学聚焦系统中,采用取样光栅(BSG)将透射的三倍频光按一定比例送入能量计中进行能量诊断。本文采用精确耦合波矢量分析方法分析了衍射效率与光栅周期、刻槽深度、占空比等的关系,为光栅的实际制作提供了一些有意义的结果。  相似文献
7.
子孔径拼接干涉检测及其精度分析   总被引:8,自引:1,他引:7  
介绍了利用小口径干涉仪检测大口径光学元件的方法,从统计的角度出发,详细地推导了子孔径拼接干涉检测技术中拼接参量的具体求解过程,以及使用统计回归方法分析了拼接检测系统精度。并通过实验对该理论进行了实际分析运算。  相似文献
8.
折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究   总被引:7,自引:1,他引:6  
许乔  包正康 《光学学报》1996,16(9):326-1331
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90μm,中心间隔100μm,透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法,并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。  相似文献
9.
胡建平  马平  许乔 《强激光与粒子束》2003,15(11):1053-1056
 用1 064nm激光实验研究了HfO2/SiO2薄膜的激光损伤增强效应,实验以薄膜激光损伤阈值70%的激光能量开始,采用N-ON-1方式处理薄膜,激光脉冲的能量增量为5J/cm2。实验结果表明,激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值平均提高到3倍左右,并且薄膜的损伤尺度也明显减小。对有缺陷的薄膜,其缺陷经低能量激光后熔和消除,其抗激光损伤能力得到增强,但增强得并不显著,而薄膜本身的激光预处理,可以使其激光损伤阈值大大提高。  相似文献
10.
大口径光学元件检测中的主要误差及其影响   总被引:7,自引:5,他引:2       下载免费PDF全文
 使用PSD作为大口径光学元件的质量评价标准,标定了测试系统的传递函数,并讨论了在对ICF驱动器中所使用的光学元件进行检测时产生的几种主要误差,分析了这些误差在进行计算和分析时可能造成的影响以及消除的方法。  相似文献
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