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翟凡  章德  李勇  谢中华 《应用声学》1999,18(2):6-10
本文利用准谐频设计方法,在常规光刻工艺水平上,成功地实现了GHZ级声表面波(SAW)器件,准谐频叉指换能器(QHIDT)的优点为:其指条宽与指间隙可以比一般的单指换能器宽,克服了单指换能器内指间的多次反射,并且又较好地解决了普通谐频叉指换能器基频抑制不好的缺点,本文给出了制作在ST石英基片上,工作频率1128MHZ的声表面波滤波器的实验结果。  相似文献   
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