排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
2.
介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了硅V型槽的二维层析图像;通过分析二维层析图像,获取了硅V型槽的结构尺寸,实现了硅V型槽表面形貌的高精度可视化测量。 相似文献
3.
1