一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法

物体三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法,以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点,而被广泛地应用。本文设计并实现了一种快速半导体线光源,提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法,大大提高了阴影莫尔测量的速度和精度,实现了非接触、无机械运动、无运行噪声、全光电测量的IC形变测量与分析系统。该系统的3σ重复精度为10μm。     

实时光电位移测量的实用化研究

介绍一种在线光电式非接触测量的装置及工作原理,即由一个半导体激光器ＬＤ作测量探头的光源,面阵ＣＭＯＳ图像传感器在实时光电位一移测量中进行图像采集,经过处理电路得到被测物体的位移。给出实验结果并分析测量精度。