台面型半导体器件的制造方法

高压功率器件台面形成的方法,一般有磨角法[1]、化学腐蚀法[2-4]喷砂法[3].磨角法是将大的片子用超声切割法切割成一个个较小的圆片,去制作器件管芯,然后一个个去磨角.此法能降低表面电场,提高击穿电压.但是,这样做速度慢,效率低.化学腐蚀法及喷砂法,不用将管芯一个个去磨角,就能在整个片子上每个管芯都形成了台面结构,效率比磨角法大大提高.化学腐蚀法是目前常用的办法,但从器件物理观点来分析,此法所形成的台面角度,对降低表面电场,提高击穿电压来说不算合理.采用本专利制得的器件,既有较高的击穿电压,又不用一个个管芯去磨角费时间,兼顾…