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全息干板膜的厚度是全息干板的重要参数之一。使用迈克尔逊干涉仪和白光光源对2种全息干板膜厚度进行测量,并对测量结果误差进行分析,给出了测量误差与膜厚及折射率之间的关系以及此方法的适用范围。研究结果表明:在膜厚从8μm增至41μm的过程中,测量结果的绝对误差≤2μm且变化很小,相对误差则从14.1%降到了2.2%。随着膜厚的增加,相对误差明显降低;折射率n也参与了误差传递,其值与测量误差呈类似反比关系;当n值在1.5附近时,为保证测量的准确性,所测膜厚≥40μm。最后指出,迈克尔逊干涉仪在测量全息干板膜等较厚的薄膜时,具有测量范围大,结果较准确等优点。 相似文献
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