Development of the Technique for Fabricating Submicron Moire Gratings on Metal Materials Using Focused Ion Beam Milling

A focused gallium ion （Ga＋） beam is used to fabricate micro/submicron spacing gratings on the surface of porous NiTi shape memory alloy （SMA ）. The crossing type of gratings with double-frequency （25001/mm and 50001/mm） using the focused ion beam （FIB） milling are successfully produced in a combination mode or superposition mode. Based on the double-frequency gratings, high-quality scanning electron microscopy （SEM） Moird patterns are obtained to study the micro-scale deformation of porous NiTi SMA. The grating fabrication technique is discussed in detail. The experimental results verify the feasibility of fabricating high frequency grating on metal surface using FIB milling.     

新型高倍显微镜云纹测量技术及其应用

本文介绍了两种新型的高倍显微镜云纹测量技术，即激光扫描共聚焦显微镜（LSCM）云纹法和扫描电子显微镜（SEM）云纹法。阐述了LSCM云纹和SEM云纹的形成及测量原理，同时对此两种云纹法加以对比，比较其各自的特点。此外，还对两种云纹法的应用进行探讨，针对测量物体表面变形和表征物体表面周期性结构特征这两类应用领域，分别以测量多晶铝合金板的残余变形和识别日本纹白蝶翅膀表面结构为例介绍LSCM云纹法的应用，以识别绿带翠凤蝶翅膀表面结构为例介绍了SEM云纹法的应用。实验结果证明了LSCM云纹法和SEM云纹法的可行性、灵活性及高灵敏度特性，均为高效、无损的全场测量技术，在微纳米尺度力学特性测量和表征方面有广泛的应用前景。     

新型高倍显微镜云纹测量技术及其应用

本文介绍了两种新型的高倍显微镜云纹测量技术,即激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)云纹法和扫描电子显微镜(SEM)云纹法.阐述了LSCM云纹和SEM云纹的形成及测量原理,同时对此两种云纹法加以对比,比较其各自的特点.此外,还对两种云纹法的应用进行探讨,针对测量物体表面变形和表征物体表面周期性结构特征这两类应用领域,分别以测量多晶铝合金板的残余变形和识别日本纹白蝶翅膀表面结构为例介绍LSCM云纹法的应用,以识别绿带翠凤蝶翅膀表面结构为例介绍了SEM云纹法的应用.实验结果证明了LSCM云纹法和SEM云纹法的可行性、灵活性及高灵敏度特性,均为高效、无损的全场测量技术,在微纳米尺度力学特性测量和表征方面有广泛的应用前景.