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提出了一种新型的长江作距离短镜筒透射式的CCD显微镜,并作了详细地分析,给出该系统的光学设计结果和数据。 相似文献
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利用复眼柱面透镜的非接触光刻系统 总被引:1,自引:0,他引:1
本文从衍射理论出发,对降低衍射效应的非接触光刻理论进行了系统地分析,并求解出降低衍射效应的光学系统的结构参数。给出各种不同的线宽和分离量之间的关系,并通过大量的工艺实验得到证实。这种新型光学系统已在圆刻机中得到应用,已提供了大量优质光栅。它对光刻各种类型的光栅也是有益的。 相似文献
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为了研究双透镜和球面镜之间不同球差分配对折反射式补偿器补偿效果的影响,以三级像差理论为基础,针对两个不同相对口径的凹抛物面镜,采用不同内部球差分配,分别设计了一组折反射式补偿器,将结果绘制成曲线.从曲线可看出,当球面镜球差分配系数从0逐渐增大到0.5时,对应折反射式补偿器补偿能力先增强,达到极值后下降.球面镜球差分配系数为零时,球面镜不承担球差,球面镜变成半径无穷大的平面镜,折反射式补偿器即变为Offner补偿器.研究表明,折反射式补偿器补偿能力强,但不同内部球差分配对补偿效果影响较大,合理选择球面镜球差分配系数对折反射式补偿器设计是有利的. 相似文献
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以高炉内窥镜为例,研究了视场在80°以上的CCD图像监视系统中针孔广角物镜的光学设计与应用。由于大视场会带来大的轴外像差,尤其是畸变与像散,以往此类物镜一般在70°内。此论文突破这一视场局限,并解决了畸变与像散问题,有利于进一步研究CCD针孔广角物镜的设计与应用。 相似文献
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变焦扩束系统的光学设计 总被引:3,自引:1,他引:3
利用几何光学理论,详细分析变焦扩束系统的两,工结合实例,指出在进行光学设计时选取参数的依据。 相似文献
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Φ0300激光扩束器光学系统设计 总被引:2,自引:1,他引:1
从三级像差理论出发,分析伽里略(Galilean)和开卜勒(Keplerian)两种类型扩束器的轴外像差没有得到很好校正的原因.通过合理的光路分析,设计出一种轴上和轴外像差都得到很好校正、大口径大相对孔径、视场可增大的、光学性能优于伽里略和开卜勒扩束器的新型扩束器.并给出了物镜通光口径为300 mm、物镜焦距为800 mm、视场为4 mrad、放大倍率为30倍、主工作波长为0.6328 μm的非球面扩束器光学系统结构参量,且进行了像质评价.调整此扩束器目镜组中各镜片的间隔以及物镜和目镜的间隔可以使该扩束器在三个波长使用. 相似文献
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从三级像差理论出发,分析伽里略(Galilean)和开卜勒(Keplerian)两种类型扩束器的轴外像差没有得到很好校正的原因·通过合理的光路分析,设计出一种轴上和轴外像差都得到很好校正、大口径大相对孔径、视场可增大的、光学性能优于伽里略和开卜勒扩束器的新型扩束器·并给出了物镜通光口径为300mm、物镜焦距为800mm、视场为4mrad、放大倍率为30倍、主工作波长为0.6328μm的非球面扩束器光学系统结构参量,且进行了像质评价·调整此扩束器目镜组中各镜片的间隔以及物镜和目镜的间隔可以使该扩束器在三个波长使用· 相似文献