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针对小推力压电陶瓷迟滞特性,提出一种用SPCE061A单片机控制的新型白光干涉微纳扫描系统的设计。该扫描系统采用低压误差放大器OP07和高压功率放大器PA78双级放大器件为核心元件,使系统的整体带宽与放大倍数可调节,并对扫描系统中压电陶瓷微位移器的迟滞曲线采用最小二乘曲线拟合法进行数学建模。实验结果表明:输出电压在(0~200)V连续可调,纹波电压的最大值为1.06mV;应用于微纳扫描控制,能获得20μm扫描范围,控制精度达10nm,线性度为0.9,阶越响应时间1.5μs,可实现对微纳扫描系统精确、快速开环控制。 相似文献
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采用光栅投影式三维轮廓术测量物体三维形貌时,当物体是台阶状物体时,物体表面的光栅条纹有阴影,导致后面的叠相还原过程无法进行。为了解决这一问题,将被测物体放在精密的旋转平台上。通过2次成像后,对2幅图像进行图像拼接,得到清晰的被光栅调制的物体图像。在图像拼接时,引入区域黑白对比度概念,区域的黑白对比度最大位置就是黑白区域的分界线。从而精确确定中间块2个边界的位置,然后进行图像拼接。最后采用双频光栅的傅里叶变换轮廓术来实现物体的三维形貌重建。结果表明:本方法简单、精度高,可以成功解决投影时具有阴影物体的三维形貌重建问题。 相似文献
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