大型菲涅耳透镜的设计和制造

介绍一种大口径六环组合光学玻璃大型菲涅耳透镜的光学设计原理、整体工艺方案、各个球面环带的工艺计算和加工方法 ;讨论了大型菲涅耳透镜的光学胶合以及整体扇型切割成型方法 ;给出了研制成功大型菲涅耳透镜的光学检测结果。     

大口径,高精度光学透镜的光胶工艺技术

介绍大口径，高精度光学透镜光胶我对光学元件的技术要求，光胶环境要求，光胶的偏心调整原理及工艺技术方法，并给出实验结果。     

高精度光学五折镜组件加工工艺技术

阐述了高精度光学元件———五折镜组件在加工制作过程中的难点以及解决的方法。五折镜是由五个平面反射镜按一定角度胶合而成的集成化小型光学组件。入射光线经五折镜组件反射后出射的角度误差为± 10″。这对光学加工和胶合技术提出了严峻的挑战。提出了成功解决这一制造难题的技术途径。     

亚微米投影光刻物镜光学制造技术

本文报告亚微米光刻５倍ｇ线与ｉ线投影光刻物镜的光学制造技术。讨论超高精度要求的球面曲率半径、透镜中心厚度、球面面形与透镜偏心差等各项指标的综合控制技术与检测方法。着重介绍了作者所发展的大口径高精度双胶合透镜的计算机辅助无变形胶合技术。给出了加工检测结果以及镜头的主要性能指标。