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射频磁控溅射法制备Cu3N薄膜及其性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用反应射频磁控溅射法,在氮气和氩气的混合气体氛围中,玻璃基底上制备出了具有半导体特性的氮化铜(Cu3N)薄膜,并研究了混合气体中氮气分量对Cu3N薄膜的择优生长取向、平均晶粒尺寸、电阻率和光学带隙的影响。原子力显微镜,X射线衍射仪,四探针电阻仪,紫外可见光谱分析及纳米压痕仪等测试结果表明:薄膜由紧密排列的柱状晶粒构成,表面光滑致密;随着氮气分量的增加,Cu3N薄膜由沿(111)晶面择优生长转变为沿(100)晶面择优生长,晶粒尺寸变小,电阻率ρ从1.51×102Ω.cm逐渐增加到1.129×103Ω.cm;薄膜的光学带隙在1.34~1.75 eV间变化;薄膜的硬度约为6.0GPa,残余模量约为108.3GPa。  相似文献   
2.
大学物理是我校必修基础课程,如何在新的形势下改革物理教学是我们每位教员关注的问题.本文从大学物理的教学理念、教学内容、教学方法、教学考核等方面入手,提出自己在物理教学改革方面的看法,以提高大学物理教学质量.  相似文献   
3.
传统的伏安法测电阻实验中无论采取电流表内接法还是外接法,都会由于电表内阻的存在,使得测量结果产生误差.本文尝试用电子束测试仪取代实验中的电压表位置实现完全断路,并设计实验步骤对电阻值进行测量,经过数据的比对,发现测量结果的相对误差较小,从而实现借助力学量来测电学量.  相似文献   
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