Ge/Si半导体量子点的应变分布与平衡形态

基于各向异性弹性理论的有限元方法，研究了金字塔形自组织Ge/Si半导体量子点应变能随高宽比变化的规律：系统的应变能随着高宽比的增大而逐渐减小.并通过自由能(应变能与表面能之和)讨论了量子点的平衡形态.结果表明，对于固定体积的量子点，存在一个高宽比值，称之为平衡高宽比，使得系统的自由能最低.同时，还给出了量子点的应力、应变、流体静应变及双轴应变分布.这些可以作为阐明应变自组织量子点实验的理论基础. 关键词： 量子点 应变分布 自由能 平衡形态     

埋置量子点应力分布的有限元分析

通过衬底材料和外延材料的交替生长方式制备出多层排列的自组装量子点超晶格结构.这些埋置量子点的应力/应变场影响着它们的光电性能、压电性能以及力学稳定性.基于各向异性弹性理论的有限元方法,研究了埋置金字塔形应变自组织Ge/Si半导体量子点的应力/应变分布以及流体静应变和双轴应变分布,并与非埋置量子点的应力/应变分布做了比较,指出了它们之间的异同以及覆盖层对量子点应力/应变分布的影响. 关键词： 量子点 应力分布 应变分布