掺He钛膜中He泡的演化研究

本文利用慢正电子束分析（SPBA）和透射电子显微镜（TEM）方法研究了钛膜内He相关缺陷的演化．实验结果表明：室温下，钛膜中的He主要形成均匀的小He泡．随着He浓度的增大，He泡的密度相应地增加．在973K高温退火后，在含高浓度He的钛膜样品中观测到大He泡的出现．实验结果表明迁移合并和较大He泡周围的级联融合共同作用导致了大He泡的形成．