首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
文章检索
  按 检索   检索词:      
出版年份:   被引次数:   他引次数: 提示:输入*表示无穷大
  收费全文   2篇
  免费   1篇
物理学   3篇
  2005年   1篇
  2002年   1篇
  2001年   1篇
排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
凹折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用光刻热熔成形工艺及离子束刻蚀制作 12 8× 12 8元凹微透镜阵列。所制硅及石英凹微透镜的典型基本图形分别为凹球冠形、凹柱形和矩顶凹面形。分析了在光致抗蚀剂柱凹微透镜图形制作过程中的膜系匹配特性 ,与制作该种微透镜有关的光掩模版的主要结构参数 ,以及光致抗蚀剂掩模工艺参数的控制依据等。探讨了在凹微透镜器件制作基础上利用成膜工艺开展平面折射微透镜器件制作的问题。采用扫描电子显微镜 (SEM)和表面轮廓仪测试了所制石英凹微透镜阵列的表面微结构形貌。给出了所制石英凹微透镜阵列远场光学特性的测试结果。  相似文献   
2.
 采用光刻及离子束蚀刻技术制作面阵石英DNA芯片模版,利用扫描电子显微镜(SEM)和表面轮廓仪测试了所制石英DNA芯片模版的表面微结构形貌特征,分析了所制石英DNA芯片模版出现图形畸变的原因。所用工艺为在其它衬底材料表面制作更大规模及具有复杂结构的大面阵DNA芯片模版奠定了基础。  相似文献   
3.
THz成像探测技术   总被引:3,自引:2,他引:1  
讨论了THz成像探测技术的若干特性、典型的辐射行为、频谱响应特点和技术特征。研究表明,THz光电成像探测技术在反恐、假币识别、邮政系统安全、化学物质检测、机场安检、光学生物医学成像、金属及塑料地雷探测、航空航天飞行器用金属及复合材料的无损探伤等方面显示出良好的应用前景。  相似文献   
1
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号