一种半导体表面上微粒缺陷散射场的计算方法

本文通过分析半导体表面上微粒缺陷散射场的光波传播规律,建立了表面上微粒缺陷场的传输模型和数学模型,使定量计算表面上微粒缺陷的散射场成为可能。进一步将入射场和散射场都表达成球矢量波函数的形式,并考虑表面的二次散射作用,用T矩阵将入射场和散射场的展开项系数连系起来。从而得到散射场与入射场之间的一系列定量表达式,并给出计算结果。     

火焰光谱与图像综合测试系统的设计

针对SR-5000红外光谱仪、AvaSpec-2048紫外光谱仪、高速CCD摄像机和标准火点火平台各个分立设备，设计了一套综合测试系统作为控制平台。该平台在配套的按键面板和操作软件下，能够启动某一设备单独工作，也能完成任何2个或多个设备的同时启动和数据同步采集。示波器测量显示，各个设备之间的同步延迟在50ns以内。通过实验，最终获得目标火焰在全波段范围内的光谱数据，并得到每一帧对应的火焰图像，为全面进行火焰光谱和图像研究以及燃烧特性分析奠定了基础。     

散射场展开项中截断系数N取值的考虑

本文讨论了用T矩阵求解散射场时,散射场展开项截断系数n取值的问题。取值的原则是既要保证T矩阵方法的计算精度也要保证计算的收敛性。     

平面上方分层小球的光散射计算

本文基于扩展的Mie理论方法求解平面上方分层小球的散射问题。通过建立小球和平面的模型,解决小球和平面的边界条件问题,并利用矢量波函数展开的方法求得了散射场。强调了小球与表面的相互作用。利用Mie理论方法得到了分层小球的散射场系数,通过计算平面上小球的散射模型,得到了平面上分层小球的散射场分布。结论给出了分层介质小球的微分散射截面图。     

若干特殊函数在T矩阵求解散射场时的编程实现

本文介绍用T矩阵方法来计算表面缺陷散射场时所用到的几个特殊函数的计算机数值编程方法。主要是球贝塞耳函数的算法、球汉克函数的算法、函数dn0m(θ)的算法和T矩阵的算法。所用编程语言为Delphi6.0。     

红外点目标检测的小波变换方法研究

在对红外图像目标特性及背景特性分析的基础上,提出了基于小波变换高频子图像处理算法及基于小波变换的区域相关算法,着重解决当目标距离成像系统较远时的点目标检测问题.实验结果表明:将区域相关算法和图像局部区域阈值的自适应滤波检测技术相结合,可显著提高红外点目标检测概率,实现较远距离的点目标检测.     

圆片上缺陷光学诊断设备的几个关键技术

简述半导体产业为追求投资回报率已经使得诊断设备由简单的工具发展成为检测缺陷、分类缺陷、分析成因、调整工艺的完善的IYM解决方案。讨论了国外诊断设备当前发展趋势。介绍了半导体圆片缺陷现场光学自动诊断设备的组成,给出了圆片诊断设备的一些重要性能指标。重点介绍了缺陷诊断设备从光机扫描成像到形成圆片图(wafermap)所采用的主要方法及其关键技术的几点考虑,包括:缺陷光散射的计算、空间信号滤波器、暗场显微技术和扫描成像技术、空间信息分析及生成圆片图等。