分子束研究GaAs和InP与氯的激光化学反应动态学

本文采用CW超声分子束和时间分辨质谱技术,研究了在紫外和可见(355nm和560nm)脉冲激光辐照下GaAs(100)和InP(100)表面与氯的激光化学反应动态学。由质谱和飞行时间谱测得反应的主要产物为GaCl_x和InCl_x(x=1,2),研究了激光波长和能量密度对产物飞行时间谱的影响,首次发现提高入射Cl₂分子的平动能对上述激光诱导气-固相反应有明显的增强作用。