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分析光学薄膜的椭偏方程的计算方法 总被引:2,自引:0,他引:2
叙述了用测量到的椭偏角ψ及Δ来确定光学薄膜的折射率、厚度和消光系数的方法.该方法收敛较快并节省时间. 相似文献
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