氩气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响

耦合求解了多晶硅定向凝固炉内热传导、热辐射、熔体和氩气热对流等各种耦合换热,比较分析了不同氩气流量下定向凝固炉内部热场分布和硅熔体流动结构。结果表明,当氩气流量增大到一定值时,氩气流对凝固过程中硅熔体流动和热输运的影响显著增强。