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采用一个有效的数学模型,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状,并将结果与实验进行对比.利用这个数学模型对使用离子束蚀刻制作单台阶光栅的台阶与沟槽部分的表面面形随时间的演变过程进行了计算机模拟分析,并通过把理论结果与在实验中得到的蚀刻表面在原子力显微镜(AFM)下拍摄的照片进行比较,结果说明这种模拟分析能够保证对该问题分析所要求的精度,从而也证明了理论模型的合理性和正确性. 相似文献
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2D subwavelength multilevel (2-, 4-, 8-, etc. levels) columned stairstep grating with coned spatial profile has been designed to reduce reflection. In this paper, the rigorous coupled-wave theory is employed to analyze the electromagnetic diffraction property of the columned stairstep grid grating. The structure is shown to achieve extremely low reflectance over a wide field of view and a wide light wave band. 相似文献
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Electromagnetic Diffraction Analysis of 2-D Antireflective Subwavelength Grating with Coned Profile 总被引:2,自引:0,他引:2
1 Introduction Itiswellknownthatconventionalmethodsof producingextremelybroadbandantireflectivesurfacesarelimitedintheinfraredregion ,becauseofthelimitednumberofthin filmcoatingmaterialsavailableforusetoday .Subwavelengthsurface relief gratingshavebeenr… 相似文献
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