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本文对近10年来有关ArF激光(193nm)光致抗蚀剂的研究开发情况进行了调研,对193nm光致抗蚀剂组成物的各个组分进行了归纳综述.从本文可以看出,利用193nm成像技术可以刻画线幅很细(<0.13μm)的图像,能适应信息技术的发展对于光致抗蚀剂高分辨率的要求.但若想将193nm成像技术在实践中推广应用,还有诸多问题需待研究解决. 相似文献
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超细Ag颗粒对葡萄糖氧化酶生物传感器响应灵敏度的增强效应 总被引:10,自引:1,他引:9
生物传感器在临床医学、环境和食品工业等方面都有重要的用途[1],且由于其具有体积小、精度高、灵敏度好和便于现场测定等优点,已成为当前研究的热点课题之一.其中研究得较多的是氧化酶电流型生物传感器,特别是介体型,由于其响应快,灵敏而倍受重视.现已报道的可... 相似文献
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流量的测量与流量计校正是化学专业实验教学基本内容之一。孔板流量计属于差压式流量计,本实验要求学生根据实验任务设计、制作和标定孔板流量计,加深对差压式流量计原理的理解,同时学习机床的操作,以提高学生实验设计能力和动手能力。 相似文献
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