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1.
 通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚a甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级。以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面形貌的调制作用为研究对象,讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响,确定了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度,实验结果表明:对于表面粗糙度小于30 nm、厚度小于9 mm的微球,测量不确定度小于0.4 nm。  相似文献   
2.
研制了适用于泡沫材料测量的透射式低能(能量低于3keV)X射线机,由于X射线能量很低,设计采用开放系统,并在较高真空下工作,既避免了铍窗及空气吸收造成X射线强度损失与降低照相背景反差,又可以保证电子束发射系统可正常工作,灯丝不致被氧化减少使用寿命。由于靶膜可以方便更换,因此,也可以使用较高原子序数金属材料靶膜,提高X射线能量,拓展设备使用范围。经过实验研究,使用6mm厚铝膜作靶材,获得了清晰的输运靶泡沫柱X光图像,表明设备可用于神光实验制靶任务常规测量。  相似文献   
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