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1篇
专业分类
物理学
1篇
出版年
2005年
1篇
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1
1.
激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响
总被引:4,自引:0,他引:4
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彭鸿雁
周传胜
赵立新
金曾孙
张冰
陈宝玲
陈玉强
李敏君
《物理学报》
2005,54(9):4294-4299
采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由10
8
W/cm
2
提高至10
10
W/cm
2
,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜 中的sp
3
键舍量及各项性能均有提高.
关键词
: 激光功率密度 类金刚石膜 性能 结构
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