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1.
用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀   总被引:2,自引:0,他引:2  
以微齿轮图形结构作为规模板,用约束刻蚀层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀,在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制,刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较,另外还测试了不同方法制得膜板的性能,初步探讨了电化学模板的制作工艺。  相似文献   
2.
抗爆容器内爆炸流场数值模拟   总被引:9,自引:0,他引:9       下载免费PDF全文
 采用计算流体动力学中的二阶精度TVD差分格式和特殊算子分裂法,按轴对称问题,对半球顶圆柱筒密闭式抗爆容器内部爆炸流场进行了数值模拟。计算得到的容器壁面载荷分布与实验结果基本一致。不同时刻爆炸流场压力分布图像清晰地描述了容器壁面的冲击波加载过程。  相似文献   
3.
空间遥感器中窗口的热光学特性研究   总被引:10,自引:1,他引:9  
光学窗口是空间光学遥感器应用系统中的重要组成部分 ,其热光学特性是其热控设计的指南。拟定某种温度边界条件后利用有限元法计算其稳态温度场分布 ,再将温度载荷和其它有关广义力载荷作为载荷 ,计算光学玻璃的变形。将变形值拟合为 Zemike多项式 ,输入到光学设计程序 Zmax TM中 ,计算出光学玻璃的变形所引入的波差。最终根据光学遥感器许用的系统波像差来给定光学玻璃的许用温度梯度  相似文献   
4.
局部多孔质气体静压轴向轴承静态特性的数值求解   总被引:4,自引:0,他引:4  
运用数值方法分析局部多孔质节流气体静压轴向轴承的静态性能,分别建立局部多孔质圆柱塞内的压力分布方程和气体薄膜内的压力分布方程,利用坐标变换将局部多孔质圆柱塞的圆柱坐标与气体薄膜的圆柱坐标转换到同一笛卡儿坐标系,为有限元离散奠定基础.经过有限元推导,求得局部多孔质气体静压轴向轴承的承载能力与静态刚度,并对局部多孔质节流进行试验以验证理论模型的正确性.另外,对局部多孔质节流气体静压轴向轴承和小孔节流气体静压轴向轴承进行对比试验.结果表明:局部多孔质节流和小孔节流静压轴承的承载能力随着气膜厚度的减小而增加;静态刚度随着气膜厚度的增加先增加后减小;局部多孔质节流比小孔节流具有较高的承载能力和静态刚度.  相似文献   
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