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1.
针对高精度点衍射球面检测系统中金属反射介质的偏振效应,分析了不同偏振态光束在不同孔径角范围情况下所引入的斜反射波前像差.通过数值仿真,对金属反射介质所引入的斜反射相移曲线特征进行了分析,并以此为基础,提出了相应的斜反射波前像差校正方法.利用高精度球面检测中点衍射干涉仪对所提出的校正方法进行了实验验证,并给出了相关实验结...  相似文献   
2.
非球面非零位检测中的回程误差分析与校正   总被引:2,自引:1,他引:1  
光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测.由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面面形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差).分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回程误差与被测非球面门径、相对口径以及非球面本身面形误差均紧密相关的结论.针对回程误差的表现形式,提出了有效校正回程误差的方法.计算机仿真及检测实验结果均表明,该方法可以较好地解决非球面非零位检测中的回程误差问题.针对非球面非零位检测中回程误差问题所做的分析以及提出的相应校正方法,有利于非球面非零位法检测精度的提高和系统的广泛应用.  相似文献   
3.
超光滑表面无损检测轮廓仪   总被引:2,自引:1,他引:1  
杨甬英  卓永模 《光子学报》1999,28(4):371-374
本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪,无需标准参考面;利用双焦干涉作非接触无损检测;利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音;计算机控制测量,即时给出表面粗糙度参数,与WYKO比对,结果吻合。仪器特别适合于均方根值Rq为纳米及亚纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试。其横向分辨率为1μm,纵向分辨率为0.1nm。  相似文献   
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