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汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文研究了用汽相沉积法制备SnO2气敏薄膜和SnO2膜的光谱透过率气敏特性。用汽相沉积制备SnO2的方法是利用一个密封的石英管系统,把SnCl4溶液置于系统内,氧气通人系统,然后系统升温使SnCl4气化,通过控制氧气流量、沉积温度和沉积时间等,使气化后的Sn原子与氧原子在一定条件下生成SnO2,沉积在玻璃衬底上。本文用AS-430S俄歇式电子能谱仪测试膜片的主要成分,并用光栅单色仪测试了膜片在乙醇还原性气体中的气敏特性。实验结果表明:与热喷法制备的SnO2膜比较,沉积法具有工艺重复性好,可以控制沉积膜的厚度,灵敏度高等优点。因此,可制备出有选择性的“气敏-光透过率”型气敏传感器。 相似文献
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光纤型热光可调光衰减器的设计及其衰减分析 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种基于热光调节的可调光衰减器结构。该衰减器通过腐蚀光纤包层到一定厚度和长度后,在表面涂覆较大热光系数的聚合物材料得到。从模场变化角度分析了传输光束的衰减与涂覆材料折射率的关系,并从实验上测试了使用不同涂覆材料时的衰减。理论分析与实验结果均表明在涂覆材料折射率略大于原光纤包层材料折射率时,涂覆材料折射率微小的变化将引起传播光束衰减的大幅度变化,并且光纤被腐蚀的长度越长或包层材料剩余厚度越小,衰减越大。因此,由热光系数大、折射率略大于光纤包层的聚合物材料所组成的可调光纤衰减器,具有衰减调节范围大且功耗小、插入损耗小、成本低、低偏振特性、易于与其它光纤器件耦合或集成等特点。 相似文献
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