蓝宝石生长炉热场的全局/局部耦合算法研究

本文对工业用泡生法制备蓝宝石单晶炉热场建立了二维稳态全局及局部数值模型.基于全局模拟结果,比较分析了不同热内边界条件的选取对局部核心区域热场及流场分布的影响.结果表明,基于全局/局部耦合算法的计算方案是可行的,当辐射-对流边界选取第二类边界、辐射-导热边界选取第一类边界、导热-导热边界选取第一类或第二类边界时,局部模拟结果的准确性最高,且局部网格划分与全局相应区域网格划分不一致时,对模拟结果几乎无影响.     

氩气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响

耦合求解了多晶硅定向凝固炉内热传导、热辐射、熔体和氩气热对流等各种耦合换热,比较分析了不同氩气流量下定向凝固炉内部热场分布和硅熔体流动结构。结果表明,当氩气流量增大到一定值时,氩气流对凝固过程中硅熔体流动和热输运的影响显著增强。