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The reliability of measurements on electron energy distribution function in silane rf glow discharges 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
Electron energy distribution function(EEDF) is a key parameter of plasmas,which is driectly proportional to the second derivative of the probe I-V characteristics,Because of an amplifying effect of unavoidable noises in the experimental probe I-V curves during the derivation process,the experimental I-V curves should be smoothed before performing the numerical derivation,This paper investigates the effect of adjustable factors used in the smoothing process on the deduced second derivative of the I-V curves,and an optimum group of the adjustable factors is selected to make the rms deviation of the smoothed I-V curves from the measured curves less than 1%,A simple differentiation circuit is designed and used to measure the EEDF parameter straghtforwardly.It is the first time,so far as we know,to measure the EEDF parmeters simultaneously by means of both numerical and circuit derivative methods under the sae discharge conditions and on the smae discharge equipment.The deviation between two groups of mean electron energy E and elcetron density ne obtained by the above different methods is within about 7%.This apparently improves the reliability of the measurements of the EEDF parameters. 相似文献
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以SiCl4H2为气源,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法低温快速沉积多晶硅薄膜.实验发现,在多晶硅薄膜的生长过程中,气相空间各种活性基团的相对浓度是影响晶粒大小的重要因素,随功率、H2/SiCl4流量比的减小和反应室气压的增加,晶粒增大.而各种活性基团的相对浓度依赖于PECVD工艺参数,通过工艺参数的改变,分析生长过程中空间各种活性基团相对浓度的变化,指出“气相结晶”过程是晶粒长大的一个重要因素.
关键词:
气相结晶
多晶硅薄膜
晶粒生长
SiCl4 相似文献
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滤光器在光谱学、光学测量和激光物理中有着极其重要的应用。全息滤光器是一种新型滤光器,特别是利用重铬酸明胶(DOG)记录的全息透射式窄带滤光器,其主要特点为对主谱线有很窄的带宽。章主要用紫外-可见分光光度计测定用DOG记录的透射式全息窄带带阻滤光器的光谱特性,测量结果分析表明,滤光器在可见光区域(400~800nm)对其中心波长的相对透射率小于2%,其他谱线的相对透射率大于85%。且滤光器有较窄的带宽,其半宽度小于12nm,十分之一宽度小于15nm。对氩离子激光(Ar^ )主谱线514.5nm有优良的滤光特性。 相似文献
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纯天然植物紫外吸收剂是一种高安全性、无副作用且有发展前景的化妆品新型紫外吸收添加剂。纯天然植物紫外吸收剂是由对紫外光有吸收作用的草本植物通过干品粉碎,用有机溶剂萃取、真空干燥后获得。新型紫外吸收剂固体呈现暗褐色,用乙醇和水配成溶液(紫外吸收剂原液)呈淡黄色。本文主要用紫外可见分光光度计测定新型纯天然植物紫外吸收剂的紫外吸收光谱,分析结果发现,紫外吸收剂在UVC区和UVB区其相对透射率均小于02%,最大值出现在UVA区约375nm处也仅为21%。说明新型天然植物紫外吸收剂对紫外线有较好的吸收,能屏蔽各种波长的紫外光。 相似文献
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对以SiH4/H2及SiCl4/H2为源气体、采用 等离子体增强化学气相沉积技术制备的非晶硅薄膜和多晶硅薄膜进行了光照稳定性的研究.实验表明,制备的多晶硅薄膜并没有出现 非晶硅中的光致衰减现象,其光电导、暗电导在光照过程中没有下降反而有所上升且电导率 变化快慢受氢稀释度的制约.多晶硅薄膜的光照稳定性可能来源于高的晶化度及Cl元素的存在.
关键词:
多晶硅薄膜
稳恒光电导效应
晶界
光致衰退效应 相似文献
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氩直流辉光放电等离子体中电子运动及能量的模拟 总被引:1,自引:1,他引:0
采用自动调节时间步长的蒙特卡罗模拟,对平行板放电系统中的氩气直流辉光放电系统中的等离子体区内电子的运动过程进行了跟踪和抽样。统计结果表明:在我们的实验条件下,等离子体中的电子在电场作用下出现明显的轴向漂移;在40000次抽样中,出现能量为E的电子数目随能量E增大呈下降趋势,场强增大将引起能量分布展宽和电子平均能量增加;即使场强达到15V·cm-1,等离子体激发和电离仍是很少的;场强和气压都能明显改变电子的平均自由程。 相似文献
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Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.
关键词:
Langmuir探针
二次微商
数值滤波
微分电路 相似文献
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化妆品中草药添加剂的光谱特性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
中草药作为化妆品天然添加剂 ,既能保持化妆品的特色 ,又有养护、保健和治疗的效果。某些中草药具有吸收紫外线的功能 ,而且有修复晒伤的作用。文章主要用紫外 可见分光光度计测定化妆品几种中草药添加剂的光谱特性 ,分析其对紫外光的吸收作用。说明野生绞股蓝对紫外光有较好的吸收作用 ,完全可以作为较好的防晒和保健化妆品的天然添加剂 ;党参、野菊花、黄芩和甘草对紫外光也有一定的吸收作用 ,可以作为一般化妆品的天然添加剂。川芎对紫外光吸收较差 ,不能作为防晒添加剂。 相似文献